陶瓷平面研磨机的轨迹分析与研究

用磨料或磨具进行的精密平面研磨抛光技术在精密加工、超精密加工领域内占据着举足轻重的地位，应用十分广泛，成为金属线纹尺、量块工作面、机械密封的密封环、电机零件、液压及气动控制件、单晶硅片、制造激光唱片、VCD光盘的模具等零件精密加工的关键技术。

陶瓷平面研磨机研磨方法是当前国内运用比较广泛的一种研磨方法。而研磨刀片平面，通常是在陶瓷平面研磨机上进行的。刀片平面的研磨质量好坏和生产效率高低，研磨盘磨损均匀性、隔离盘磨损程度，很难由操作人员随意加以控制，但却与研磨机的研磨运动和运动轨迹有着密切关系，并与研磨运动参数合理选择关系很大。

平面研抛轨迹曲线直接影响研抛的质量与效率，是深入认识研抛过程机理的基础问题，可以把研抛过程的轨迹曲线分为两类：工件上一定点相对于研磨盘的运动轨迹，以及研磨盘上一定点相对于工件的运动轨迹。轨迹曲线对工件加工精度的影响较大，这主要是由于工件相对于研磨盘的切削速度大小、切削速度的方向、工件有无加工不到的区域等影响加工精度的参数与不同的轨迹曲线密切相关。

隔离盘作行星运动的陶瓷平面研磨机为三种类型，一是上、下研磨盘固定不动，研磨运动完全由隔离盘的行星运动来完成；二是上、下研磨盘旋转，隔离盘作行星运动；三是下研磨盘旋转，上研磨盘只浮动，隔离盘作行星运动。

如果要研发新的陶瓷平面研磨机，那就需要陶瓷平面研磨机的研磨运动和运动轨迹必须满足以下要求：第一，合金刀片平面相对于研磨盘的运动方向应不断变化，这样才可避免有纹磨削；第二，应当使刀片上每点相对于研磨盘上的研磨路程相等，以保证刀片上研磨去相同的余量，保持刀片平面的平面度和两端平面的平行度，并使研磨盘工作面磨损均匀；第三，为了适应粗、精研磨，要求研磨速度和速度周期变换系数能进行调整。

陶瓷平面研磨机的轨迹对研磨的质量及效率是非常关键的。只有掌握正确的轨迹方式，才能使研磨精度达到一个新的高度。